近日，MEMS器件可靠性试验创新联合体（以下简称“联合体”）成立大会在京召开，智芯公司、北京大学、清华大学、哈工大、北航、中科院微电子所、中科院空天研究院、中电科三十八所等23家单位入选联合体首批成员单位，国家市场监管总局、北京市科委相关领导出席成立大会并讲话。
MEMS器件可靠性试验创新联合体成立大会
联合体由中国机械总院集团基础制造技术研究院（以下简称“中机研”）发起成立，成员单位涵盖科研院所、高校、企业等多个领域。联合体将重点围绕MEMS器件设计仿真分析、基础材料研发、标准工艺设计、测试技术、MEMS器件产品研发与中试验证等领域开展技术攻关，加速MEMS器件研发创新与孵化。联合体将充分有着各成员单位资源优势，以实际行动践行国资委“要加快发展战略性新兴产业，支持中央企业牵头建立创新联合体，加快打造原创技术策源地，强化关键核心技术攻关”要求。
之前，智芯公司采集传感事业部与中机研等标准机构共同推进中国传感器与物联网产业联盟能源专委会的标准工作。中机研作为专委会的副理事长单位和标准工作组的组长单位，协同专委会伙伴开展标准预研工作，成熟的标准草案对接不同的标准机构，已发布4项团标，正在起草4项行标。作为TC336成员单位，智芯公司牵头TC336能源领域MEMS技术标准研究组工作，组织预研的《微机电系统(MEMS)技术 MEMS磁传感器技术规范》、《微机电系统(MEMS)技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范》2项国家标准提案正在国标委立项公示，预计今年5月底正式立项。
MEMS器件可靠性试验创新联合体成员单位授牌
下一步，智芯公司将积极参与联合体建设，深度研究MEMS器件测试技术，实现对MEMS器件在线检测和封装后的检测，并依托联合体怀柔创新基地重点实验室及MEMS研发平台，面向MEMS器件典型应用场景，开展产品研发与中试验证。同时充分联合各单位开展科技项目合作，加强能源领域传感器的基础技术和应用研究，为新型电力系统的建设提供有力支撑。
